Hliníková nitridová trubica

Vlastnosti tepelného riadenia

 Vynikajúca tepelná vodivosť (170-220 w/m · k) - porovnateľné s berylliou bez obáv toxicity

 Nízka tepelná expanzia (4,5 × 10⁻⁶/ stupeň) - zhoduje kremík pre kompatibilitu polovodiča

 Stabilita s vysokou teplotou - udržuje integritu až do 1 380 stupňov inertnej atmosféry

Elektrické a mechanické vlastnosti

 Vynikajúca elektrická izolácia (10¹³ -10 ⁴ Ω · cm objemový odpor)

 Vysoká dielektrická pevnosť (15-20 kv/mm)

 Mierna mechanická pevnosť (300-400 MPA ohyb)

Chemický odpor

 Rezistentné na roztavené kovy - vrátane hliníka a medi

 Stabilné pri redukcii atmosféry - na rozdiel od oxidovej keramiky

 Odolnosť proti hydrolýze - lepší ako konkurenčné nitridy

1. Výroba polovodičov

Komponenty spracovania oblátok - pre CVD a leptanie

Plazmové zadržiavacie trubice - v systémoch suchého leptania

Komponenty ohrievača a skľučenia - na tepelné spracovanie oblátkov

2. Elektronika

Trubice na chladič

Izolačné kryty - vo vysokonapäťových výkonových moduloch

RF/mikrovlnné komponenty - Dielektrické aplikácie s nízkym strácam

3. Pokročilé spracovanie materiálov

Kruci v kryštálovom raste - na výrobu arzenidu gália

Kovové odparovacie nádoby - vo vákuových depozičných systémoch

Komponenty tepelného rozhrania - pre vysoké teplotné pece

4. Aerospace a obrana

Kyštenie radarových komponentov - Vlastnosti mikrovlnnej rúry

Systémy tepelného riadenia - pre chladenie avioniky

Materiálne výhody oproti alternatívam

Bezpečnejšie ako Berylia - porovnateľná tepelná výkonnosť bez toxicity

Tepelne vodivejšie ako hliník - 6-8 × lepší rozptyl tepla

Stabilnejší ako karbid kremíka - lepšia oxidačná odolnosť

Technické kľúčové slová:
Vlastnosti trubice nitridu hliníka, keramika s vysokou tepelnou vodivosťou, technické špecifikácie ALN, keramika polovodičov